本文摘要：

 使用五轴激光扫描系统研究了FR4覆铜板深盲孔的飞秒激光加工技术，实现了FR4覆铜板深盲孔的高精度制造以及侧壁锥度的连续调控，提高了盲孔的加工质量。研究结果表明，相较于激光重复频率和扫描速度，激光脉冲能量对盲孔侧壁锥度的影响显著；调节扫描图形的线间距，使其与激光加工参数匹配，可以提高孔内材料的去除均匀性；通过改变激光扫描策略可以调节盲孔侧壁锥度，进而实现盲孔底部与入口的直径比在70%~90%区间的连续可调，同时也可以调节盲孔半径，的深径比可达4.9∶1。盲孔底部加工结果表明，孔底的玻璃纤维复合材料被去除，底部铜层的损伤深度小于1 μm。研究结果促进了五轴激光扫描技术的应用与发展。

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